大連理工大學(xué)劉軍山研究員團(tuán)隊(duì)與李明教授團(tuán)隊(duì)等合作，獨(dú)辟蹊徑地提出一種納米工程策略，制造出亞微米厚度（0.85μm）柔性壓力傳感器。相關(guān)成果以封面文章形式發(fā)表于Small。

柔性壓力傳感器廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、腦機(jī)工程、智能制造等領(lǐng)域。柔性壓力傳感器通常由上下兩層柔性電 極層和中間的功能軟材料層組成，外界壓力會(huì)導(dǎo)致功能軟材料層壓縮變形，從而引起傳感器輸出信號(hào)改變。而這種以功能軟材料層壓縮變形為主導(dǎo)的傳感機(jī)理，要求電極層具有相對(duì)較大的抗彎剛度，且厚度一般要比功能軟材料層大1~2個(gè)數(shù)量級(jí)。因此，現(xiàn)有的柔性壓力傳感器厚度只能是百微米甚至毫米量級(jí)，嚴(yán)重影響了傳感器的輕質(zhì)性、變形性和共形性。

團(tuán)隊(duì)通過納米工程策略，將柔性壓力傳感器的傳感機(jī)理，由功能軟材料層的壓縮變形為主導(dǎo)，轉(zhuǎn)變?yōu)槿嵝噪姌O層的彎曲變形為主導(dǎo)，從根本上解除了對(duì)于傳感器厚度的限制。并且由于超薄的柔性電極層擁有的變形能力，使得傳感器具有優(yōu)異的檢測(cè)性能。傳感器的單位面積重量只有每平方米2.8克，相當(dāng)于普通辦公打印紙的1/29，能夠承受曲率半徑小至8.8μm的面外超大彎曲變形，能夠與皮膚表面實(shí)現(xiàn)共性貼合。另外，傳感器的靈敏度為92.11 kPa-1，檢出限為0.8 Pa，均為目前公開報(bào)道的。

納米工程策略可以呈數(shù)量級(jí)地減少傳感器厚度，從而突破性提升傳感器的輕質(zhì)性、變形性和共形性，同時(shí)還能使傳感器具有超高的檢測(cè)性能，為柔性壓力傳感器的設(shè)計(jì)和制造提供了一種全新思路。

來源：傳感器專家網(wǎng)